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    萬級無塵車間的設備保養


      一、生產設備之選擇、布置與保養:
      1、要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。
      2、應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
      3、生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
      4、規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
      5、真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在萬級凈化車間安裝外面或回風區,并加裝排氣管線 排氣。
      6、設置給水管線、氣體管線和電氣系統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
      7、生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
      8、應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
      9、當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。
      10、對于施工或維修之廠商,應告知進出萬級凈化車間安裝之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。
      11、應有萬級凈化車間安裝專用工具組,但不得帶出萬級凈化車間安裝外使用。
      12、規劃空間時若能臨近萬級凈化車間安裝設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。
      生產設備之防塵措施:
      1、磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。
      2、易產生塵埃之設備,若能的話應布置于風尾地點。
      3、在操作時,盡量減少接觸零件或產品。
      4、不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
      5、各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。
      6、為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。

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